YASKAWA安川 JZRCR-NPP02-01 潔凈室機(jī)器人示教器
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安川應(yīng)用于潔凈室的機(jī)器人非常多，有用于第6代超大型液晶玻璃基板箱體內(nèi)高速搬運(yùn)的MFL2200D和MFS2200D潔凈機(jī)器人，也有用于第8代超大型液晶玻璃基板箱體內(nèi)高速搬運(yùn)的MFS2500D，有適用于真空環(huán)境內(nèi)的雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人SEMISTAR-VD95D，有適用于潔凈室內(nèi)最大負(fù)載重達(dá)165KG大型重物搬運(yùn)的MCL165，有300枚/小時(shí)的高速搬運(yùn)的半導(dǎo)體晶片搬運(yùn)用機(jī)器人SEMISTAR-MR124。
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